К физическим методам дезинфекции относят действие повышенных температур (прогревание, обработка оборудования паром), обеспложивающую фильтрацию, облучение и др. Обычно действие повышенных температур применяют в сочетании с химическими препаратами. Эффект действия высоких температур зависит от условий относительной влажности. Споры микробов более устойчивы к нагреванию, особенно частично высушенные.
Самым распространенным методом уничтожения микроорганизмов является стерилизация влажным паром под давлением. Наиболее устойчивы при этом споры термофильных бактерий, наиболее чувствительны дрожжи.
Этот метод применяют для обработки различного оборудования. Для стерилизации коммуникаций и некоторых видов оборудования применяют перегретый пар. Наиболее устойчивы к нему бактериальные споры, наименее - вегетативные формы бактерий; плесени занимают промежуточное положение.